1.电子光学系统 ●二次电子像分辨率:≤ 5nm ●背散射电子像分辨率:≤ 20nm(拓扑像、成分像),成 分分辨足以清晰分辨α / β黄铜 ●电子枪:钨丝发射枪、预对中灯丝 ●加速电压:0—30kV ●束流范围:10-5—10-12A ●图像放大倍数:×50—×300,000,连续可调 2.波谱系统 ●分析元素:5B -92U ●分析精度:好于1%(主元素,含量>5%)和5%(次要元素,含量~1%) ●分析速度:自动全元素定性分析时间≤60秒,可以自动 识别0.1 wt%以上的元素 3. X射线能谱仪 ●探测器:为分析型SDD硅漂移电制冷探测器 ●能量分辨率:Mn、Ka保证优于127eV,元素分析范围: Be4~Cf98 ●稳定性:1,000cps—100,000cps,Mn、Ka峰谱峰漂移<1eV ,分辨率变化<1ev |